精密ティルトステージ くさび式 Z軸 機構採用 TLT型 【コンパクト】
薄型で高剛性
精密な角度アライメントに最適なティルトステージです
精密な角度アライメントに最適なティルトステージです
主なスペック
| 可動上下ストローク | ±0.2mm |
|---|---|
| 可動ティルト角度 | ±0.1° （注1） |
| 保証搭載荷重（均等負荷） | 490N |
（注1）上下可動域センタ−からの可動角度です
動作例
- パターン1
- A,B,Cを同時に同量動かすと水平シフト（上下移動）します。
- パターン2
- A,B,Cの何れか一つを固定し、他を動かすとティルト動作します。
- パターン3
- A,B,Cの何れか二つを固定し、他を動かすとティルト動作します。
- パターン4
- A,B,Cをそれぞれ動かすことによりマルチ動作します。
仕様
| メカ仕様 | 有効ストローク（上下） | ±0.15（mm） |
|---|---|---|
| 限界ストローク（上下）★ | ±0.20（mm） | |
| 有効角度（ティルト） | ±0.1（°）*1 | |
| 限界角度（ティルト）☆ | ±0.13（°）*1 | |
| 保証搭載荷重 | 490（N） | |
| 質 量 | 4.3（kgr） | |
| 精度仕様 | 分解能 | 40（nm/P） *2 |
| 繰返位置決め精度 | ±0.5（μm） *2 | |
| ロストモーション | 2（μm） *2 | |
| 電装 | 駆動モーター（3軸共通） | 5相ステッピングモーター（減速機付き、ABSエンコーダー付き） |
*1：上下ストロークセンターからの角度です。
*2：上下動作時の値です。
★☆：メカストッパーを設けておりません。ABSエンコーダーからソフトリミットの設定をお願いします。
左図の丸ふたを取り外し、
マイナスドライバーを使用して手動で各軸を動かすことができます。
電気設備がなくてもメカ調整が可能です。
寸法
