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精密ティルトステージ くさび式 Z軸 機構採用 TLT型 【コンパクト】
薄型で高剛性
精密な角度アライメントに最適なティルトステージです
主なスペック
可動範囲（水平基準）
±0.09°
保証搭載荷重（均等負荷）
580N
仕様詳細
内部構造・詳細スペック・カスタムオーダーにつきましては別途お問合せください。
